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运用研磨和化学机械抛光技术制备高品质的石英薄膜 图 南化机实习报告 百度文库
目前获得石英薄膜主要有两种方式： 增强型等离 子化学气相沉积 PECVD（ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 表 1 材料的莫氏硬度 材料 莫氏硬度 非晶态氧化硅 6． 5 石英 7． 0 金刚石 10 图 2 研磨机 2． 4 研磨工艺参数和结果 研磨液分别选用两种不 南化机实习报告 西安石油大学机械工程学院 机 械 工 程 学 院 赴 南 京 化 工 机 械 厂 实 习 报 告 过程装备与控制工程 姓 名 xx 专业 级 实习时间
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